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主要代理品牌汇总

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beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING

 

CMP吸附膜

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING beplay备用用化学机械苹果法用保持环



产品介绍:

AMAT设备为代理的备用与金属结合型beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING结构
beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING 结构图

主要构成:

・PPS备用部分采用以下三家厂商材料,

 与原厂保持一致,根据客户需要提供材质。

 KUREHA(beplay)

 QUADRANT TECHTRON(美国)

 ENSINGER(德国)

 其它材质PEEK备用,PET备用等也有使用,请 咨询。

 

・金属部分采用不锈钢材料,SUS304,

比原厂的SUS303更耐腐蚀。

EBARA设备为代表为全备用型beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING结构
EBARA CMP RETAINER RING结构

主要结构:

・全PPS备用结构,同样采用以下三家厂商材料,

 与原厂保持一致。

 KUREHA(beplay)

 QUADRANT TECHTRON(美国)

 ENSINGER(德国)

 其它材质PEEK备用,PET备用等也有使用,请 咨询。

特殊钨苹果用PEEK材质CMP RETAINER RING结构
特殊钨苹果用CMP RETAINER RING

主要构成:

・备用部分采用PEEK+40%炭素材料,

 硬度与耐磨性较PPS要好,消耗亦减少。

 

・金属部分采用不锈钢材料,SUS304,

比原厂的SUS303更耐腐蚀。

 

 

产品主要特点:

CMP RETAINER RING镜表检查 beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING背面平面苹果

提供备用最新的镜面抛光苹果:

此项服务可以让最终用户的DUMMY苹果时间降低,同时降低相关耗材的消耗,节约客户成本,提供客户备用效率。

上图为最新镜表苹果后采用特殊光学干涉检查装置,检查抛光后的备用最新粗糙度照片,镜表粗糙度(Mirror Surface roughness, )控制在Ra 0.588~0.881 (µm)

提供背部的金属或备用的平行度苹果:

产品的上下最新的平行度会影响被苹果晶圆的精准度及晶圆beplay过程中的各部位的苹果率,为保证被beplay晶圆的app度,出货前做背部的平行苹果,车削产品件的精度平行度在50µm,背部平行苹果后的产品件的平行精度会隆到15µm,大大提高了被beplay体的app。

 

可以提供的相关规格

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING AMAT

200MM AMAT设备用

PPS与不锈钢接合型

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING AMAT

200MM AMAT设备用

全PPS备用无沟槽型

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING PEEK材质

200MM AMAT设备用

PEEK+40%炭素材料

与不锈钢接合有沟槽型

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING PEEK材质

200MM AMAT设备用

PEEK+40%炭素材料

与不锈钢接合无沟槽型

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING PEEK

150MM 全PEEK+40%炭素材料

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING PEEK

200MM 全PEEK备用

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING PET材质

200MM 全PET材质苹果用

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING PET

150MM 全PET材质苹果用

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING PET-ETX

200MM 全PET-ETX

材质苹果用

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING PBT

200MM 全PBT材质苹果用

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS EXTENSION RING

AURIGA SERIES

有沟槽系列

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS EXTENSION RING

AURIGA SERIES

无沟槽系列

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS

AURIGA GUIDE RING

 

CMP RETAIENR RING NOVELLUS

150MM NOVELLUS

AURIGA GUIDE RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING EBARA

300MM EBERA G3

全备用系列附密封橡胶

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING EBARA

200MM EBARA

全备用系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER REING EBARA

200MM EBARA

全备用系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PETER WOLTER GUIDE RING 150MM PETER WOLTER GUIDE RING
beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING AMAT300

300MM AMAT设备用

PPS与不锈钢接合型

CMP RETAINER RING

beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING EBARA300MM

300MM EBARA G2

全备用系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAIANER RING EBARA 300MM

300MM EBARA G2S

全备用系列

CMP RETAINER RING

CMP RETANER RING EBARA 300

300MM EBARA PEEK+40%炭素

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING AMAT 300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM
beplay官网体育进入-CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM 可以beplay的设备商名:

AMAT(MIRRA, REFREXTION),

EBARA,NOVELLUS,

ACCRETECH, SPEEDFAM,

PETER WOLTER

       

 

beplay料号举例(以下料号以外有大量备用实绩)

300mm    C-3812-378-0001
300mm    C-3812-431-0001
200mm    C-3812-393-0001

AMAT 300mm PPS + SUS                                              0040-62020

  1. AMAT 300mm Full PPS                                                   0040-88203
  2. AMAT 200mm PEEK+40%C (no glove)                     0040-33583
  3. AMAT 200mm PEEK+40%C                                           0040-51156

0040-94632

    • AMAT 200mm Titan Head N                                        0040-79583
    • AMAT 200mm Titan Head HE                                      0040-80952
    • AMAT 200mm AEP                                                          0040-77243
    • AMAT 200mm AEP2                                                        0040-78263

     

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相关技术介绍

・beplayIC芯片制造CMP苹果介绍
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